IC厭氧塔由5個基本部分組成：混合區、顆粒污泥膨脹床區、精處理區、內循環系統和出水區。其中內循環系統是IC工藝的核心部分，由下層三相分離器、沼氣提升管、氣液分離器和泥水下降管組成。